Gants OY, Yudina AD, Zhirnova VO, Timonina AS, Lyukshina YI, Akhmatova AA. СИНТЕЗ ОКСИДА РУТЕНИЯ (IV) НА ТАНТАЛЕ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ. ХИХТ [Интернет]. 21 май 2020 г. [цитируется по 4 декабрь 2024 г.];63(7):26-0. доступно на: https://ctj-isuct.ru/article/view/2651