Golovanov AV, Luparev NV, Sorokin BP. МОДИФИКАЦИЯ АЛМАЗНОЙ ПОВЕРХНОСТИ ПРИ ФОТОЛИТОГРАФИИ, ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЙ ОЧИСТКЕ И МАГНЕТРОННОМ ОСАЖДЕНИИ. ХИХТ [Интернет]. 27 октябрь 2020 г. [цитируется по 22 ноябрь 2024 г.];63(11):49-6. доступно на: https://ctj-isuct.ru/article/view/3042