Luparev NV, Sorokin BP, Aksenenkov VV. ПОЛУЧЕНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ-СКАНДИЯ В СОСТАВЕ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СЛОИСТЫХ СТРУКТУР С ПОДЛОЖКАМИ ИЗ СИНТЕТИЧЕСКОГО МОНОКРИСТАЛЛА АЛМАЗА. ХИХТ [Интернет]. 23 ноябрь 2020 г. [цитируется по 23 ноябрь 2024 г.];63(12):77-4. доступно на: https://ctj-isuct.ru/article/view/3082