Efremov AM, Kwon K-H. СОСТАВ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКA ТРАВЛЕНИЯ SiO2 В СМЕСИ CF4/C4F8/Ar/He: ВЛИЯНИЕ СООТНОШЕНИЯ CF4/C4F8 И МОЩНОСТИ СМЕЩЕНИЯ. ХИХТ [Интернет]. 17 август 2022 г. [цитируется по 22 декабрь 2024 г.];65(10):47-3. доступно на: https://ctj-isuct.ru/article/view/4211