Efremov AM, Bashmakova DE, Kwon K-H. О ВЛИЯНИИ КИСЛОРОДА НА КИНЕТИКУ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ В СМЕСЯХ CF4 + O2 И C4F8 + O2. ХИХТ [Интернет]. 9 декабрь 2023 г. [цитируется по 25 ноябрь 2024 г.];67(1):51-9. доступно на: https://ctj-isuct.ru/article/view/4639