Efremov AM, Betelin VB, Kwon K-H. О СРАВНЕНИИ МЕХАНИЗМОВ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ SiO2 И Si3N4 В ПЛАЗМЕ HBr + Ar. ХИХТ [Интернет]. 3 май 2023 г. [цитируется по 1 июль 2025 г.];66(6):37-5. доступно на: https://ctj-isuct.ru/article/view/4861