Teteruk DV, Bormashov VS, Tarelkin SA, Kornilov NV, Luparev NV, Kirichenko AN. ПОДАВЛЕНИЕ СИНТЕЗА АЛМАЗА НА ТОРЦЕВОЙ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖКИ В ПРОЦЕССЕ ГАЗОФАЗНОГО ОСАЖДЕНИЯ. ХИХТ [Интернет]. 17 июль 2018 г. [цитируется по 21 ноябрь 2024 г.];59(8):64-8. доступно на: https://ctj-isuct.ru/article/view/572