Efremov AM, Smirnov SA, Betelin VB, Kwon K-H. О ВЛИЯНИИ ИНЕРТНОГО ГАЗА-НОСИТЕЛЯ НА КОНЦЕНТРАЦИИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ И КИНЕТИКУ ТРАВЛЕНИЯ ZrO2 В ПЛАЗМЕ ХЛОРА. ХИХТ [Интернет]. 5 ноябрь 2024 г. [цитируется по 13 ноябрь 2024 г.];67(11):40-4. доступно на: https://ctj-isuct.ru/article/view/5726