Efremov AM, Smirnov SA, Betelin VB, Kwon K-H. ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ ZnO В БРОМИСТОМ ВОДОРОДЕ: ВЛИЯНИЕ ИНЕРТНОГО ГАЗА-НОСИТЕЛЯ. ХИХТ [Интернет]. 12 ноябрь 2024 г. [цитируется по 21 ноябрь 2024 г.];67(12):86-5. доступно на: https://ctj-isuct.ru/article/view/5749