Efremov AM, Bobylev AV, Kaznacheeva EM, Kwon K-H. О ВЛИЯНИИ НАЧАЛЬНОГО СОСТАВА СМЕСИ CF4 + CHF3 + O2 НА ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКУ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ. ХИХТ [Интернет]. 28 ноябрь 2024 г. [цитируется по 1 декабрь 2024 г.];68(1):39-7. доступно на: https://ctj-isuct.ru/article/view/5864