Miakonkikh AV, Kuzmenko VO, Efremov AM, Rudenko KV. ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КОНЦЕНТРАЦИЯ АТОМОВ ФТОРА В СМЕСИ SF6 + Ar + He: ВЛИЯНИЕ СООТНОШЕНИЯ Ar/He, ДАВЛЕНИЯ И ВКЛАДЫВАЕМОЙ МОЩНОСТИ. ХИХТ [Интернет]. 10 январь 2025 г. [цитируется по 17 январь 2025 г.];68(3):42-9. доступно на: https://ctj-isuct.ru/article/view/6057