Efremov AM, Betelin VB, Kwon K-H. ВЛИЯНИЕ СООТНОШЕНИЯ Ar/He НА СОСТАВ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКУ ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ В CF4- И C4F8- СОДЕРЖАЩИХ ТРЕХКОМПОНЕНТНЫХ СМЕСЯХ. ХИХТ [Интернет]. 14 май 2025 г. [цитируется по 1 июнь 2025 г.];68(6):41-. доступно на: https://ctj-isuct.ru/article/view/6231