Miakonkikh AV, Kuzmenko VO, Efremov AM, Rudenko KV. ПАРАМЕТРЫ И СОСТАВ ПЛАЗМЫ В СМЕСИ SF6 + He + O2: ВЛИЯНИЕ ДАВЛЕНИЯ ПРИ ВЫСОКИХ И НИЗКИХ СОДЕРЖАНИЯХ КИСЛОРОДА. ХИХТ [Интернет]. 14 ноябрь 2025 г. [цитируется по 23 июль 2026 г.];69(1):29-8. доступно на: https://ctj-isuct.ru/article/view/6599