Tarelkin SA, Kornilov NV, Kuznetsov MS, Luparev NV, Martyushov SY, Timoshenko VO. ОСОБЕННОСТИ ТЕХНОЛОГИИ ГОМОЭПИТАКСИАЛЬНОГО ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ТОНКИХ АЛМАЗНЫХ СЛОЕВ НА МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКУЮ АЛМАЗНУЮ ПОДЛОЖКУ, ЛЕГИРОВАННУЮ АЗОТОМ. ХИХТ [Интернет]. 20 июнь 2025 г. [цитируется по 23 июль 2026 г.];68(9):60-5. доступно на: https://ctj-isuct.ru/article/view/6607