Etmisheva SS, Maksumova AM, Nizameeva GR, Kholin KV, Abdulagatov IM. ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ОКСИДА АЛЮМИНИЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ХЛОРИДА АЛЮМИНИЯ И ВОДЫ МЕТОДОМ КВАРЦЕВОГО ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО МИКРОВЗВЕШИВАНИЯ. ХИХТ [Интернет]. 8 июль 2026 г. [цитируется по 23 июль 2026 г.];69(9):89-7. доступно на: https://ctj-isuct.ru/article/view/6910