Mednikov, Konstantin A., ФГУ ФНЦ НИИСИ РАН, Российская Федерация

• ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» Том 64 № 6 (2021) - ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ неорг. и органических веществ, теоретические основы
  GAS-PHASE PARAMETERS AND REACTIVE-ION ETCHING REGIMES FOR Si AND SiO2 IN BINARY Ar + CF4/C4F8 MIXTURES
  Аннотация  pdf (English)
• ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» Том 64 № 7 (2021) - ХИМИЯ неорганич., органич., аналитич., физич., коллоидная, высокомол. соединений
  ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КОНЦЕНТРАЦИИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В СМЕСЯХ ФТОРУГЛЕРОДНЫХ ГАЗОВ С АРГОНОМ И КИСЛОРОДОМ
  Аннотация  pdf (English)