НЕКОТОРЫЕ АСПЕКТЫ ПРОИЗВОДСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МИКРОСХЕМ: ЗАКОНЫ МУРА, МЕЖДУНАРОДНАЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ КАРТА ДЛЯ ПОЛУПРОВОД-НИКОВ И ОСНОВНЫЕ ВЫЗОВЫ В СОВРЕМЕННОЙ ТЕХНОЛОГИИ ПРОИЗВОДСТВА ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ
Аннотация
данном кратком обзоре рассматриваются и обсуждаются некоторые главные проблемы производства полупроводниковых микросхем, такие как 1-й и 2-й законы Мура, международная технологическая карта для полупроводников, последние тренды технологии производства, исследования и развитие и текущие производственные вызовы такие как проблемы фундаментальные (Пуассоновский дробовой шум – статистическая флюктуация- для ряда частиц типа атомов, заполняющих элементарный безразмерный объем ), технологические проблемы –улучшенная технология структуры и литография экстремального ультрафиолета, конструирование оборудования для производства современных микросхем и имеющие к этому отношение бизнес факторы (экстремально высокая стоимость производства и возможности исследований и развития).
Литература
Moore G.E. Cramming more Components onto ICs. Electronics. 1965. 38 (8) (reproduced in Proc. IEEE, 86, 82 (1998)).
https://en.wikipedia.org/wiki/Moore%27s_law.
http://ark.intel.com/products/family/91287/Intel-Xeon-Processor-E5-v4-Family#@All.
http://www.itrs2.net/uploads/4/9/7/7/49775221/irc-itrs-mtm-v2_3.pdf.
https://en.wikipedia.org/wiki/Continual_improvement_process.
https://en.wikipedia.org/wiki/Bleeding_edge_technology.
https://www.umass.edu/wsp/resources/poisson.
http://www-03.ibm.com/ibm/history/ibm100/us/en/icons/cop-perchip.
https://en.wikipedia.org/wiki/Photolithography.
https://en.wikipedia.org/wiki/Photoresist.
https://en.wikipedia.org/wiki/Immersion_lithography.
https://en.wikipedia.org/wiki/Multiple_patterning.
https://en.wikipedia.org/wiki/Extreme_ultraviolet_lithography.
http://www.ece.umd.edu/class/enee416/GroupActivities/Lithography%20Presentation.pdf.
https://en.wikipedia.org/wiki/Extreme_ultraviolet_lithography#cite.
https://en.wikipedia.org/wiki/Chemical-mechanical_planarization.
http://www.nist.gov/pml/div683/conference/upload/Villarrubia_2005.pdf.
Koshelev K., ISAN ... Extreme Ultraviolet Source at 40 nm with Alkali Metal Vapor for Surface ... https://www.euv-litho.com/2010/Abstracts%202010%20EUV%20Source%20Workshop.pdf and references therein.
http://biography.yourdictionary.com/arthur-rock.
https://en.wikipedia.org/wiki/Rock%27s_law - cite_note-2
https://en.wikipedia.org/wiki/Obsolescence.
Standborn P. (April 2008). "Trapped on Technology's Trail-ing Edge". IEEE Spectrum. Retrieved 2011-11-27.
"Intel to build fab for 14-nm chips". EE Times. Jump up^ "Intel shelves cutting-edge Arizona chip factory". Reuters. January 14, 2014.
https://en.wikipedia.org/wiki/Wafer_(electronics).
https://en.wikipedia.org/wiki/Semiconductor_fabrication_plant.
https://www.semiwiki.com/forum/content/2554-globaliza-tion-semiconductor-manufacturing-industry.html.
https://en.wikipedia.org/wiki/Semiconductor_fabrication_plant.
http://semiengineering.com/will-7nm-and-5nm-really-happen.
http://www.digitimes.com/news/a20160804PR201.html.
http://trade.gov/topmarkets/pdf/Semiconductors_Taiwan.pdf.
http://www.globalization101.org/what-is-globalization/; http://www.forbes.com/forbes/welcome.
http://foreignpolicy.com/2016/03/15/these-25-companies-are-more-powerful-than-many-countries-multinational-corporate-wealth-power/; https://www.researchgate.net/publication/254969449_Multinational_Enterprise_and_Government_Controls_on_Outward_Fo-reign_Direct_Investment_in_the_United_States_and_the_United_Kingdom_in_the_1960s.
http://www.academia.edu/1394945/Globalizations_Impact_on_High-Tech_Industries_in_the_United_States.